各位老大：
我最近在做AR时，在镀AL2O3的时候，总是会出现光量逆行，设备老是报警，请问这是什么原因。
目前充氧5.0E-3Pa，我自己把蒸发速率调高了也无济于事。

应该是折射率低了的原因,它的折射率低于你的检测片的折射率就会出现这个问题

若果你镀的不够4分之一，膜厚接近一个峰值肯定会报警的。

监视片的问题多一点！

膜系设计?
光控设计?
可能光控系统故障?

对于监控玻璃这方面我也考虑过，在擦拭很干净以后（冷光灯检查），再装入机器里边，还是会有报警，但是都只是大概反着走1%左右的光量。
关于膜厚设计，以为从最开始到现在都没有改变过设计值，所以我认为这块不会有太大的问题。
请问大家的蒸发速率和蒸发时的电流是多少？可否告知。
感激不尽！

光亮逆行，说明监控片折射率大于Al2O3折射率。一般监控片折射率都是小于Al2O3折射率的。所以，我估计是监控片被污染了。应该是熔高折射材料时飘到膜了。可以做一个单层Al2O3试试看光亮又没有问题。若没有，就肯定是熔黑药飘到膜了。调整挡板就行了。