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请问怎么清洗硅片柱面上的抛光粉?

请问怎么清洗硅片柱面上的抛光粉?

在加工硅片时,硅片柱面粘有抛光粉,干后很难除去。请问大家有什么好的清洗方法可以除去吗?谢谢!
jicker@263.net

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抛光之前,先在硅片柱面上涂上中性保护漆,下盘后正常清洗就可以了。

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谢谢楼主

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谢谢二楼的朋友,这个方法我们有用过,但柱面有保护漆后,细磨,抛光会将一部分保护漆带进抛光液中导致零件表面划痕。

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顶起!!!!!!!!!!!!!!!!!!!

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在强碱中用超声波清洗。当然你的硅片材料材质好的话。

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强碱肯定是要和硅片反应的!用NAOH就能把硅片腐蚀了!

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回复 #4 jicker 的帖子

一点点带进去,不可能对光洁度有影响,你该找找抛光磨和光光粉的原因

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你好,我们在做两种清洗剂,一是NGL的超声波清洗剂,主要用于光学表面处理完成之后或镀膜之前等工序中的清洗工序。NGL也是肖特玻璃、HOYA玻璃、佳能光学等的长期供应商。

另一种是PCT光学表面清洁保护剂,涂在表面之后形成一层坚固的膜层,使光学表面与外界环境隔离,起到保护的作用,这层膜可以很容易的被撕去,同时带走灰尘、手指印等污染物,本身不会在光学表面有任何残留,不会造成二次污染,而且对表面无任何伤害。可用于清洁光学镜片(有镀膜或无镀膜)、光栅、CCD、晶体,可安全用于大多数金属,氧化硅,硅,锗,KRS-5,NaCl,KBr,及极性无机晶体上。其还可用于清洁防反射及反射涂层,商用的镜片表面,及某些不溶于极性有机溶剂如丙酮的塑料。

希望这些信息对您有所帮助,如果您有兴趣可以与我联系,或者我可以发一些产品资料给您。有需要的朋友可以告诉我您的email,我可以发一些资料给您。可到我公司博客了解更详细的信息。

我的联系方式:nancy@opturn.com
电话:010-62527843(张小姐)
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