王银珍,周圣明,徐　军
(中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800)
摘要:介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺,概述了化学机械抛光原理和设备,讨论分析了影响蓝宝石衬底化学
机械抛光的因素,阐述了CMP 的主要发展趋势:能定量确定最佳CMP 工艺,系统地研究CMP 工艺过程参数,建立完
善的CMP 理论模型,满足不同的工艺要求和应用领域,有效降低成本,提高产量。
关键词:蓝宝石;衬底;化学机械抛光
中图分类号:O786 　　　　文献标识码:A 　　　文章编号:10002985X(2004) 0320441207

来源于<人工晶体学报>2004年第6期

上光的文章,应该写的不错

看看再说，希望能有个比较全面的介绍

都是分析,没有能参考的数据.
不过谢楼主分享了!

我像毛主席保证，这个贴也是无肉的，最多有点毛皮，但还是要谢谢楼主。

我向马克思保证，这个贴连点点皮毛都不会有的

好东西，学习学习下

这篇文章我看过，无血无肉，最多有几根毛。

6楼的朋友，我遇得到你哦