光电论坛 » 光电材料与纳米科技 » [讨论]用于GaN基LD、LED衬底(Al2O3,SiC等)的激光划片机
工程技师
最近研发用于GaN基LD、LED衬底(Al2O3,SiC等)的激光划片机(波长266,355nm)。
请问业界对使用激光划片机有什么具体要求?心得?
如,激光对掺杂的影响?对器件性能的影响等等?
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