光电论坛 » 光学镀膜与膜系设计 » 电子枪速率

无语了 发表于 2008-5-18 08:12

电子枪速率

双电子枪镀滤色片,SIO2速率设定8,实际只有4出现过几次,而且蒸镀结束后电脑里没有过程记录,怎么回事,大家帮忙分析下.

zzzz 发表于 2008-5-19 08:44

1、设置错了
2、软件故障
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镀膜加游戏 发表于 2008-5-19 16:22

sensor 换一个新的！！

再有看看程序！

镀膜加游戏 发表于 2008-5-19 16:28

power   升到设定值了吗？   

power  是多少？？  你们的设定是多少？

shaodong1311 发表于 2008-5-20 22:15

应该是你的SIO2的密度设置的不对，或者是Z值没设对，后者的希望比较大，你先看看！

liyazhou 发表于 2008-5-27 10:47

设置问题或软件问题...........................................

zzzz 发表于 2008-5-27 12:59

楼主解决问题了没?
怎么也没个回应啊.

optin 发表于 2008-5-27 14:00

这个现象是瞬间的低点，并不会影响沉积过程。

镀膜加游戏 发表于 2008-5-28 09:10

这楼主真不厚道！！

没踪影了

:lol

hezhiwei629 发表于 2008-5-28 09:49

应该是参数设置有问题了吧 去查查IC/5的设置

nation 发表于 2008-7-4 00:20

都是简单问题啊从材料入手解决。

tfc 发表于 2008-7-4 08:14

不够详细,你是说蒸发速率太低吗?达不到8?那同时有什么现象?另一种高电流的正常?
镀SIO2时是不是探头被挡了,SIO2有没有镀的特别厚?

涛哥 发表于 2008-7-5 14:02

这是正常的,蒸发速率瞬间的波动是由信号噪音造成.只要持续时间不长就没事.

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